電子ビーム励起プラズマによる新機能膜の創生

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Material Type: 図書
Title: 電子ビーム励起プラズマによる新機能膜の創生
Title Transcription: デンシビームレイキプラズマニヨルシンキノウマクノソウセイ
Author/Editor: Abraha Petros, 名城大学
Author Heading: アブラハ, ペトロス (Abraha, Petros) アブラハ, ペトロス (Abraha, Petros)
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
2000
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: deposition DEPOSITION
laser ablation LASERABLATION
thin film THINFILM
plasma PLASMA
vacuum chamber VACUUMCHAMBER
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650140
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11650140
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007067207
http://id.ndl.go.jp/bib/000007067207
Bibliographic Record Category (NDL): 214