酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用
• タイトルよみ: サンカ シリコンナノポーラス ハクマク ノ テイユウデンリツ ザイリョウ ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 内田, 和男, 電気通信大学
• 著者標目: 内田, 和男 ウチダ, カズオ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 低誘電率材料 テイユウデンリツザイリヨウ; 層間絶縁膜 ソウカンゼツエンマク; 酸化シリコンナノポーラス薄膜 サンカシリコンナノポーラスハクマク; ガス中蒸発法 ガスチユウジヨウハツホウ; クラスター クラスター
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11650317
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11650317
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007067342; http://id.ndl.go.jp/bib/000007067342
• 整理区分コード: 214