酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用

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Material Type: 図書
Title: 酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用
Title Transcription: サンカシリコンナノポーラスハクマクノテイユウデンリツザイリョウヘノオウヨウ
Author/Editor: 内田, 和男, 電気通信大学
Author Heading: 内田, 和男ウチダ, カズオ
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 低誘電率材料テイユウデンリツザイリヨウ
層間絶縁膜ソウカンゼツエンマク
酸化シリコンナノポーラス薄膜サンカシリコンナノポーラスハクマク
ガス中蒸発法ガスチユウジヨウハツホウ
クラスタークラスター
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650317
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11650317
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007067342
http://id.ndl.go.jp/bib/000007067342
Bibliographic Record Category (NDL): 214