酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用

• Material Type: 図書
• Title: 酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用
• Title Transcription: サンカ シリコンナノポーラス ハクマク ノ テイユウデンリツ ザイリョウ ヘ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 内田, 和男, 電気通信大学
• Author Heading: 内田, 和男 ウチダ, カズオ
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 低誘電率材料 テイユウデンリツザイリヨウ; 層間絶縁膜 ソウカンゼツエンマク; 酸化シリコンナノポーラス薄膜 サンカシリコンナノポーラスハクマク; ガス中蒸発法 ガスチユウジヨウハツホウ; クラスター クラスター
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650317
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11650317
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007067342; http://id.ndl.go.jp/bib/000007067342
• Bibliographic Record Category (NDL): 214