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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- プラズマ オ モチイタ チッカ ガリウムインジウムヒソ ノ セイチョウ ト コウデンシ シュウセキ カイロ ジツゲン ヘ ノ キソ ケントウ
- 著者・編者
- 淀, 徳男, 大阪工業大学
- 著者標目
- 淀, 徳男 ヨド, トクオ
- 出版年月日等
- 1999-2000
- 出版年（W3CDTF）
- 1999
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 光電子集積回路 コウデンシシユウセキカイロシリコン基板上窒化ガリウム シリコンキバンジヨウチツカガリウムシリコン基板表面 シリコンキバンヒヨウメンECRプラズマ ECRプラズマプラズマダメージ プラズマダメージエピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ立方晶窒化ガリウム リツポウシヨウチツカガリウム窒化ガリウムインジウム砒素 チツカガリウムインジウムヒソ