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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- プラズマ オ モチイタ チッカ ガリウムインジウムヒソ ノ セイチョウ ト コウデンシ シュウセキ カイロ ジツゲン ヘ ノ キソ ケントウ
- Author/Editor
- 淀, 徳男, 大阪工業大学
- Author Heading
- 淀, 徳男 ヨド, トクオ
- Publication Date
- 1999-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 光電子集積回路 コウデンシシユウセキカイロシリコン基板上窒化ガリウム シリコンキバンジヨウチツカガリウムシリコン基板表面 シリコンキバンヒヨウメンECRプラズマ ECRプラズマプラズマダメージ プラズマダメージエピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ立方晶窒化ガリウム リツポウシヨウチツカガリウム窒化ガリウムインジウム砒素 チツカガリウムインジウムヒソ