ECRスパツタ法によるコバルト含有酸化鉄薄膜メデイアの低温・高速作成法の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: ECRスパツタ法によるコバルト含有酸化鉄薄膜メデイアの低温・高速作成法の研究
• タイトルよみ: ECR スパツタホウ ニ ヨル コバルト ガンユウ サンカテツ ハクマク メデイア ノ テイオン ・ コウソク サクセイホウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 山本, 節夫, 山口大学
• 著者標目: 山本, 節夫 ヤマモト, セツオ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 電子サイクロトロン共鳴 デンシサイクロトロンキヨウメイ; スパツタ成膜 スパツタセイマク; コバルト含有酸化鉄薄膜 コバルトガンユウサンカテツハクマク; 酸化鉄薄膜 サンカテツハクマク; フエライト薄膜 フエライトハクマク; ECRスパツタ法 ECRスパツタホウ; 磁気デイスク ジキデイスク; 磁気テープ ジキテープ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11650349
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11650349
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007067367; http://id.ndl.go.jp/bib/000007067367
• 整理区分コード: 214