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ECRスパツタ法によるコバルト含有酸化鉄薄膜メデイアの低温・高速作成法の研究

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ECRスパツタ法によるコバルト含有酸化鉄薄膜メデイアの低温・高速作成法の研究

Call No. (NDL)
Y151-H11650349
Bibliographic ID of National Diet Library
000007067367
Material type
図書
Author
山本, 節夫, 山口大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ECR スパツタホウ ニ ヨル コバルト ガンユウ サンカテツ ハクマク メデイア ノ テイオン ・ コウソク サクセイホウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
山本, 節夫, 山口大学
Author Heading
山本, 節夫 ヤマモト, セツオ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
電子サイクロトロン共鳴 デンシサイクロトロンキヨウメイ
スパツタ成膜 スパツタセイマク
コバルト含有酸化鉄薄膜 コバルトガンユウサンカテツハクマク
酸化鉄薄膜 サンカテツハクマク
フエライト薄膜 フエライトハクマク
ECRスパツタ法 ECRスパツタホウ
磁気デイスク ジキデイスク
磁気テープ ジキテープ