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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ECR スパツタホウ ニ ヨル コバルト ガンユウ サンカテツ ハクマク メデイア ノ テイオン ・ コウソク サクセイホウ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 山本, 節夫, 山口大学
- Author Heading
- 山本, 節夫 ヤマモト, セツオ
- Publication Date
- 1999-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1999
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 電子サイクロトロン共鳴 デンシサイクロトロンキヨウメイスパツタ成膜 スパツタセイマクコバルト含有酸化鉄薄膜 コバルトガンユウサンカテツハクマク酸化鉄薄膜 サンカテツハクマクフエライト薄膜 フエライトハクマクECRスパツタ法 ECRスパツタホウ磁気デイスク ジキデイスク磁気テープ ジキテープ