化学溶液法によるFeRAM用強誘電体薄膜の低温プロセシングと評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: 化学溶液法によるFeRAM用強誘電体薄膜の低温プロセシングと評価
• タイトルよみ: カガク ヨウエキホウ ニ ヨル FeRAM ヨウ キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ テイオン プロセシング ト ヒョウカ
• 著者・編者: 林, 卓, 湘南工科大学
• 著者標目: 林, 卓 ハヤシ, タカシ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 化学溶液法 カガクヨウエキホウ; FeRAM FERAM; 強誘電性 キヨウユウデンセイ; ビスマス系 ビスマスケイ; 低温プロセシング テイオンプロセシング; 薄膜 ハクマク; ゾル・ゲル ゾル・ゲル
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11650702
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11650702
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007067577; http://id.ndl.go.jp/bib/000007067577
• 整理区分コード: 214