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化学溶液法によるFeRAM用強誘電体薄膜の低温プロセシングと評価

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化学溶液法によるFeRAM用強誘電体薄膜の低温プロセシングと評価

Call No. (NDL)
Y151-H11650702
Bibliographic ID of National Diet Library
000007067577
Material type
図書
Author
林, 卓, 湘南工科大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
カガク ヨウエキホウ ニ ヨル FeRAM ヨウ キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ テイオン プロセシング ト ヒョウカ
Author/Editor
林, 卓, 湘南工科大学
Author Heading
林, 卓 ハヤシ, タカシ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
化学溶液法 カガクヨウエキホウ
FeRAM FERAM
強誘電性 キヨウユウデンセイ
ビスマス系 ビスマスケイ
低温プロセシング テイオンプロセシング
薄膜 ハクマク
ゾル・ゲル ゾル・ゲル