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反射高速電子回折法による窒化チタン機能性薄膜の原子レベル制御に関する研究

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反射高速電子回折法による窒化チタン機能性薄膜の原子レベル制御に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650713
国立国会図書館書誌ID
000007067584
資料種別
図書
著者
粕壁, 善隆, 東北大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハンシャ コウソク デンシ カイセツホウ ニ ヨル チッカ チタン キノウセイ ハクマク ノ ゲンシ レベル セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
粕壁, 善隆, 東北大学
著者標目
粕壁, 善隆 カスカベ, ヨシタカ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
窒素注入 チツソチユウニユウ
蒸着チタン薄膜 ジヨウチヤクチタンハクマク
窒化チタン チツカチタン
hcp-fcc変態 HCP-FCCヘンタイ
反射高速電子回折法 ハンシヤコウソクデンシカイセツホウ
その場観察 ソノバカンサツ
透過電子顕微鏡法 トウカデンシケンビキヨウホウ
電子エネルギー損失分光法 デンシエネルギーソンシツブンコウホウ