反射高速電子回折法による窒化チタン機能性薄膜の原子レベル制御に関する研究

Call No. (NDL): Y151-H11650713
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007067584

Material type: 図書

Author: 粕壁, 善隆, 東北大学

Publisher: -

Publication date: 1999-2000

Material Format: Paper

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Note (General)：: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 反射高速電子回折法による窒化チタン機能性薄膜の原子レベル制御に関する研究
Title Transcription: ハンシャコウソクデンシカイセツホウニヨルチッカチタンキノウセイハクマクノゲンシレベルセイギョニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 粕壁, 善隆, 東北大学
Author Heading: 粕壁, 善隆カスカベ, ヨシタカ
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 窒素注入チツソチユウニユウ
蒸着チタン薄膜ジヨウチヤクチタンハクマク
窒化チタンチツカチタン
hcp-fcc変態 HCP-FCCヘンタイ
反射高速電子回折法ハンシヤコウソクデンシカイセツホウ
その場観察ソノバカンサツ
透過電子顕微鏡法トウカデンシケンビキヨウホウ
電子エネルギー損失分光法デンシエネルギーソンシツブンコウホウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650713
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11650713
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007067584
http://id.ndl.go.jp/bib/000007067584
Bibliographic Record Category (NDL): 214