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ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価

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ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650714
国立国会図書館書誌ID
000007067585
資料種別
図書
著者
川添良幸, 東北大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハイブリッドモデル ニ ヨル クラスター タイセキマク ノ サクセイ カテイ ト ソノ ブッセイ ヒョウカ
著者・編者
川添良幸, 東北大学
著者標目
著者 : 川添, 良幸, 1947- カワゾエ, ヨシユキ, 1947- ( 00155043 )典拠
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
モンテカルロ直接法 モンテカルロチヨクセツホウ
クラスター堆積過程 クラスタータイセキカテイ
希薄流シミユレーシヨン キハクリユウシミユレーシヨン
古典分子動力学法 コテンブンシドウリキガクホウ
ボルツマン方程式 ボルツマンホウテイシキ
最適作製条件 サイテキサクセイジヨウケン
材料設計 ザイリヨウセツケイ
ハイブリツドモデル ハイブリツドモデル