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ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価

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ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価

Call No. (NDL)
Y151-H11650714
Bibliographic ID of National Diet Library
000007067585
Material type
図書
Author
川添良幸, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価
Title Transcription
ハイブリッドモデル ニ ヨル クラスター タイセキマク ノ サクセイ カテイ ト ソノ ブッセイ ヒョウカ
Author/Editor
川添良幸, 東北大学
Author Heading
著者 ： 川添, 良幸, 1947- カワゾエ, ヨシユキ, 1947- ( 00155043 )Authorities
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
2000
Extent
冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
モンテカルロ直接法 モンテカルロチヨクセツホウ
クラスター堆積過程 クラスタータイセキカテイ
希薄流シミユレーシヨン キハクリユウシミユレーシヨン
古典分子動力学法 コテンブンシドウリキガクホウ
ボルツマン方程式 ボルツマンホウテイシキ
最適作製条件 サイテキサクセイジヨウケン
材料設計 ザイリヨウセツケイ
ハイブリツドモデル ハイブリツドモデル