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単結晶シリコンの超精密加工における延性・ぜい性遷移点の究明

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単結晶シリコンの超精密加工における延性・ぜい性遷移点の究明

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650753
国立国会図書館書誌ID
000007067611
資料種別
図書
著者
李木, 経孝, 広島国際学院大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
タンケッショウ シリコン ノ チョウセイミツ カコウ ニ オケル エンセイ ・ ゼイ セイ センイテン ノ キュウメイ
著者・編者
李木, 経孝, 広島国際学院大学
著者標目
李木, 経孝 スモモギ, ツネタカ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
超精密加工 チヨウセイミツカコウ
超微細胞加工 チヨウビサイボウカコウ
延性モード加工 エンセイモードカコウ
ぜい性材料 ゼイセイザイリヨウ
単結晶シリコン タンケツシヨウシリコン
ダイヤモンド工具 ダイヤモンドコウグ
走査型プローブ顕微法 ソウサガタプローブケンビホウ
原子間力顕微法 ゲンシカンリヨクケンビホウ