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単結晶シリコンの超精密加工における延性・ぜい性遷移点の究明

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単結晶シリコンの超精密加工における延性・ぜい性遷移点の究明

Call No. (NDL)
Y151-H11650753
Bibliographic ID of National Diet Library
000007067611
Material type
図書
Author
李木, 経孝, 広島国際学院大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
タンケッショウ シリコン ノ チョウセイミツ カコウ ニ オケル エンセイ ・ ゼイ セイ センイテン ノ キュウメイ
Author/Editor
李木, 経孝, 広島国際学院大学
Author Heading
李木, 経孝 スモモギ, ツネタカ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
超精密加工 チヨウセイミツカコウ
超微細胞加工 チヨウビサイボウカコウ
延性モード加工 エンセイモードカコウ
ぜい性材料 ゼイセイザイリヨウ
単結晶シリコン タンケツシヨウシリコン
ダイヤモンド工具 ダイヤモンドコウグ
走査型プローブ顕微法 ソウサガタプローブケンビホウ
原子間力顕微法 ゲンシカンリヨクケンビホウ