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光電気化学エツチングによる半導体表面微細加工と機能界面の構築

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光電気化学エツチングによる半導体表面微細加工と機能界面の構築

国立国会図書館請求記号
Y151-H11650843
国立国会図書館書誌ID
000007067672
資料種別
図書
著者
杉浦, 隆, 岐阜大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒカリ デンキ カガク エツチング ニ ヨル ハンドウタイ ヒョウメン ビサイ カコウ ト キノウ カイメン ノ コウチク
著者・編者
杉浦, 隆, 岐阜大学
著者標目
杉浦, 隆 スギウラ, タカシ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
酸化チタン サンカチタン
光電気化学エツチング ヒカリデンキカガクエツチング
ナノポーラス構造 ナノポーラスコウゾウ
フオトエツチング フオトエツチング
粒界 リユウカイ
半導体表面処理 ハンドウタイヒヨウメンシヨリ
エツチングサイト選択性 エツチングサイトセンタクセイ