光電気化学エツチングによる半導体表面微細加工と機能界面の構築

• Material Type: 図書
• Title: 光電気化学エツチングによる半導体表面微細加工と機能界面の構築
• Title Transcription: ヒカリ デンキ カガク エツチング ニ ヨル ハンドウタイ ヒョウメン ビサイ カコウ ト キノウ カイメン ノ コウチク
• Author/Editor: 杉浦, 隆, 岐阜大学
• Author Heading: 杉浦, 隆 スギウラ, タカシ
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 酸化チタン サンカチタン; 光電気化学エツチング ヒカリデンキカガクエツチング; ナノポーラス構造 ナノポーラスコウゾウ; フオトエツチング フオトエツチング; 粒界 リユウカイ; 半導体表面処理 ハンドウタイヒヨウメンシヨリ; エツチングサイト選択性 エツチングサイトセンタクセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650843
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11650843
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007067672; http://id.ndl.go.jp/bib/000007067672
• Bibliographic Record Category (NDL): 214