NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化

• 資料種別: 図書
• タイトル: NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化
• タイトルよみ: NF3 プラズマアシスト ハンノウ オヨビ NF3 ネツ カガク ハンノウ ニ ヨル SiC ノ フツソカ
• 著者・編者: 田坂, 明政, 同志社大学
• 著者標目: 田坂, 明政 タサカ, アキマサ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 三フツ化窒素 サンフツカチツソ; 炭化ケイ素 タンカケイソ; 反応性イオンエツチング ハンノウセイイオンエツチング; 平滑化 ヘイカツカ; 異方性エツチング イホウセイエツチング
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11650864
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11650864
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007067685; http://id.ndl.go.jp/bib/000007067685
• 整理区分コード: 214