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NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化

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NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化

Call No. (NDL)
Y151-H11650864
Bibliographic ID of National Diet Library
000007067685
Material type
図書
Author
田坂, 明政, 同志社大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
NF3 プラズマアシスト ハンノウ オヨビ NF3 ネツ カガク ハンノウ ニ ヨル SiC ノ フツソカ
Author/Editor
田坂, 明政, 同志社大学
Author Heading
田坂, 明政 タサカ, アキマサ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
三フツ化窒素 サンフツカチツソ
炭化ケイ素 タンカケイソ
反応性イオンエツチング ハンノウセイイオンエツチング
平滑化 ヘイカツカ
異方性エツチング イホウセイエツチング