NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化

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Material Type: 図書
Title: NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化
Title Transcription: NF3 プラズマアシストハンノウオヨビ NF3 ネツカガクハンノウニヨル SiC ノフツソカ
Author/Editor: 田坂, 明政, 同志社大学
Author Heading: 田坂, 明政タサカ, アキマサ
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 三フツ化窒素サンフツカチツソ
炭化ケイ素タンカケイソ
反応性イオンエツチングハンノウセイイオンエツチング
平滑化ヘイカツカ
異方性エツチングイホウセイエツチング
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650864
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11650864
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007067685
http://id.ndl.go.jp/bib/000007067685
Bibliographic Record Category (NDL): 214