ダイヤモンド・立方晶AlN積層構造を用いた超高速表面弾性波素子の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: ダイヤモンド・立方晶AlN積層構造を用いた超高速表面弾性波素子の研究
• タイトルよみ: ダイヤモンド ・ リッポウショウ AlN セキソウ コウゾウ オ モチイタ チョウコウソク ヒョウメン ダンセイハ ソシ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 犬島, 喬, 東海大学
• 著者標目: 犬島, 喬 イヌシマ, タカシ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: SAWフイルタ SAWフイルタ; ダイヤモンド ダイヤモンド; AlN ALN; 薄膜作成法 ハクマクサクセイホウ; MOCVD MOCVD; ECR共鳴点成膜法 ECRキヨウメイテンセイマクホウ; 低温成膜 テイオンセイマク; ラム波 ラムハ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11650332
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11650332
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007068498; http://id.ndl.go.jp/bib/000007068498
• 整理区分コード: 214