ダイヤモンド・立方晶AlN積層構造を用いた超高速表面弾性波素子の研究

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Material Type: 図書
Title: ダイヤモンド・立方晶AlN積層構造を用いた超高速表面弾性波素子の研究
Title Transcription: ダイヤモンド・リッポウショウ AlN セキソウコウゾウオモチイタチョウコウソクヒョウメンダンセイハソシノケンキュウ
Author/Editor: 犬島, 喬, 東海大学
Author Heading: 犬島, 喬イヌシマ, タカシ
Publication Date: 1999-2000
Publication Date (W3CDTF): 1999
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: SAWフイルタ SAWフイルタ
ダイヤモンドダイヤモンド
AlN ALN
薄膜作成法ハクマクサクセイホウ
MOCVD MOCVD
ECR共鳴点成膜法 ECRキヨウメイテンセイマクホウ
低温成膜テイオンセイマク
ラム波ラムハ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11650332
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H11650332
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007068498
http://id.ndl.go.jp/bib/000007068498
Bibliographic Record Category (NDL): 214