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有機シラン蒸気の電子衝突分解過程と電子輸送特性

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有機シラン蒸気の電子衝突分解過程と電子輸送特性

国立国会図書館請求記号
Y151-H11680476
国立国会図書館書誌ID
000007069730
資料種別
図書
著者
吉田, 公策, 北見工業大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ユウキ シラン ジョウキ ノ デンシ ショウトツ ブンカイ カテイ ト デンシ ユソウ トクセイ
著者・編者
吉田, 公策, 北見工業大学
著者標目
吉田, 公策 ヨシダ, コウサク
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
有機シラン蒸気 ユウキシランジヨウキ
テトラメチルシラン テトラメチルシラン
電子スオームパラメータ デンシスオームパラメータ
電離係数 デンリケイスウ
電子ドリフト速度 デンシドリフトソクド
電子拡散係数 デンシカクサンケイスウ
ATS ATS
電子シヤツター法 デンシシヤツターホウ