有機シラン蒸気の電子衝突分解過程と電子輸送特性

• 資料種別: 図書
• タイトル: 有機シラン蒸気の電子衝突分解過程と電子輸送特性
• タイトルよみ: ユウキ シラン ジョウキ ノ デンシ ショウトツ ブンカイ カテイ ト デンシ ユソウ トクセイ
• 著者・編者: 吉田, 公策, 北見工業大学
• 著者標目: 吉田, 公策 ヨシダ, コウサク
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 有機シラン蒸気 ユウキシランジヨウキ; テトラメチルシラン テトラメチルシラン; 電子スオームパラメータ デンシスオームパラメータ; 電離係数 デンリケイスウ; 電子ドリフト速度 デンシドリフトソクド; 電子拡散係数 デンシカクサンケイスウ; ATS ATS; 電子シヤツター法 デンシシヤツターホウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11680476
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11680476
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007069730; http://id.ndl.go.jp/bib/000007069730
• 整理区分コード: 214