有機シラン蒸気の電子衝突分解過程と電子輸送特性

• Material Type: 図書
• Title: 有機シラン蒸気の電子衝突分解過程と電子輸送特性
• Title Transcription: ユウキ シラン ジョウキ ノ デンシ ショウトツ ブンカイ カテイ ト デンシ ユソウ トクセイ
• Author/Editor: 吉田, 公策, 北見工業大学
• Author Heading: 吉田, 公策 ヨシダ, コウサク
• Publication Date: 1999-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1999
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 有機シラン蒸気 ユウキシランジヨウキ; テトラメチルシラン テトラメチルシラン; 電子スオームパラメータ デンシスオームパラメータ; 電離係数 デンリケイスウ; 電子ドリフト速度 デンシドリフトソクド; 電子拡散係数 デンシカクサンケイスウ; ATS ATS; 電子シヤツター法 デンシシヤツターホウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 11680476
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H11680476
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007069730; http://id.ndl.go.jp/bib/000007069730
• Bibliographic Record Category (NDL): 214