プルーム中イオン制御型パルスレーザ堆積法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: プルーム中イオン制御型パルスレーザ堆積法の開発
• タイトルよみ: プルーム チュウ イオン セイギョガタ パルスレーザ タイセキホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 池上, 知顯, 熊本大学
• 著者標目: 池上, 知顯 イケガミ, トモアキ
• 出版年月日等: 1999-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: パルスレーザ堆積法 パルスレーザタイセキホウ; プラズマ プラズマ; イオンインプランテーシヨン イオンインプランテーシヨン; レーザ誘起蛍光法 レーザユウキケイコウホウ; TiN TIN; DLC DLC; エキシマレーザ エキシマレーザ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 11680489
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H11680489
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007069736; http://id.ndl.go.jp/bib/000007069736
• 整理区分コード: 214