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プルーム中イオン制御型パルスレーザ堆積法の開発

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プルーム中イオン制御型パルスレーザ堆積法の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H11680489
国立国会図書館書誌ID
000007069736
資料種別
図書
著者
池上, 知顯, 熊本大学
出版者
-
出版年
1999-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
プルーム チュウ イオン セイギョガタ パルスレーザ タイセキホウ ノ カイハツ
著者・編者
池上, 知顯, 熊本大学
著者標目
池上, 知顯 イケガミ, トモアキ
出版年月日等
1999-2000
出版年(W3CDTF)
1999
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
パルスレーザ堆積法 パルスレーザタイセキホウ
プラズマ プラズマ
イオンインプランテーシヨン イオンインプランテーシヨン
レーザ誘起蛍光法 レーザユウキケイコウホウ
TiN TIN
DLC DLC
エキシマレーザ エキシマレーザ