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図書

プルーム中イオン制御型パルスレーザ堆積法の開発

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プルーム中イオン制御型パルスレーザ堆積法の開発

Call No. (NDL)
Y151-H11680489
Bibliographic ID of National Diet Library
000007069736
Material type
図書
Author
池上, 知顯, 熊本大学
Publisher
-
Publication date
1999-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
プルーム チュウ イオン セイギョガタ パルスレーザ タイセキホウ ノ カイハツ
Author/Editor
池上, 知顯, 熊本大学
Author Heading
池上, 知顯 イケガミ, トモアキ
Publication Date
1999-2000
Publication Date (W3CDTF)
1999
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
パルスレーザ堆積法 パルスレーザタイセキホウ
プラズマ プラズマ
イオンインプランテーシヨン イオンインプランテーシヨン
レーザ誘起蛍光法 レーザユウキケイコウホウ
TiN TIN
DLC DLC
エキシマレーザ エキシマレーザ