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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- チカ マイクロセンシング ノ タメ ノ マイクロセンサー ノ カイハツ
- 著者・編者
- 新妻, 弘明, 東北大学
- 著者標目
- 新妻, 弘明 ニイツマ, ヒロアキ
- 出版年月日等
- 1997-2000
- 出版年(W3CDTF)
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)
- 件名標目
- MEMS MEMSマイクロセンサ マイクロセンサ光干渉型加速度センサー ヒカリカンシヨウガタカソクドセンサー容量型加速度センサー ヨウリヨウガタカソクドセンサー光干渉型ハイドロフオン ヒカリカンシヨウガタハイドロフオンフアイバーグレーテイングセンサー フアイバーグレーテイングセンサーラドンセンサー ラドンセンサーマイクロゾンデ マイクロゾンデ