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地下マイクロセンシングのためのマイクロセンサーの開発

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地下マイクロセンシングのためのマイクロセンサーの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H09305068
国立国会図書館書誌ID
000007070232
資料種別
図書
著者
新妻, 弘明, 東北大学
出版者
-
出版年
1997-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
チカ マイクロセンシング ノ タメ ノ マイクロセンサー ノ カイハツ
著者・編者
新妻, 弘明, 東北大学
著者標目
新妻, 弘明 ニイツマ, ヒロアキ
出版年月日等
1997-2000
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
MEMS MEMS
マイクロセンサ マイクロセンサ
光干渉型加速度センサー ヒカリカンシヨウガタカソクドセンサー
容量型加速度センサー ヨウリヨウガタカソクドセンサー
光干渉型ハイドロフオン ヒカリカンシヨウガタハイドロフオン
フアイバーグレーテイングセンサー フアイバーグレーテイングセンサー
ラドンセンサー ラドンセンサー
マイクロゾンデ マイクロゾンデ