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地下マイクロセンシングのためのマイクロセンサーの開発

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地下マイクロセンシングのためのマイクロセンサーの開発

Call No. (NDL)
Y151-H09305068
Bibliographic ID of National Diet Library
000007070232
Material type
図書
Author
新妻, 弘明, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1997-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チカ マイクロセンシング ノ タメ ノ マイクロセンサー ノ カイハツ
Author/Editor
新妻, 弘明, 東北大学
Author Heading
新妻, 弘明 ニイツマ, ヒロアキ
Publication Date
1997-2000
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
MEMS MEMS
マイクロセンサ マイクロセンサ
光干渉型加速度センサー ヒカリカンシヨウガタカソクドセンサー
容量型加速度センサー ヨウリヨウガタカソクドセンサー
光干渉型ハイドロフオン ヒカリカンシヨウガタハイドロフオン
フアイバーグレーテイングセンサー フアイバーグレーテイングセンサー
ラドンセンサー ラドンセンサー
マイクロゾンデ マイクロゾンデ