Search by Bookstore
Search by Bookstore
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- チカ マイクロセンシング ノ タメ ノ マイクロセンサー ノ カイハツ
- Author/Editor
- 新妻, 弘明, 東北大学
- Author Heading
- 新妻, 弘明 ニイツマ, ヒロアキ
- Publication Date
- 1997-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1997
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(A)
- Subject Heading
- MEMS MEMSマイクロセンサ マイクロセンサ光干渉型加速度センサー ヒカリカンシヨウガタカソクドセンサー容量型加速度センサー ヨウリヨウガタカソクドセンサー光干渉型ハイドロフオン ヒカリカンシヨウガタハイドロフオンフアイバーグレーテイングセンサー フアイバーグレーテイングセンサーラドンセンサー ラドンセンサーマイクロゾンデ マイクロゾンデ