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マイクロマシーニング技術を応用したX線・赤外線検出器の開発

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マイクロマシーニング技術を応用したX線・赤外線検出器の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H09440092
国立国会図書館書誌ID
000007070338
資料種別
図書
著者
満田和久, 宇宙科学研究所
出版者
-
出版年
1997-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書3冊

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロマシーニング ギジュツ オ オウヨウ シタ Xセン ・ セキガイセン ケンシュツキ ノ カイハツ
著者・編者
満田和久, 宇宙科学研究所
著者標目
満田, 和久 ミツダ, カズヒサ
出版年月日等
1997-2000
出版年(W3CDTF)
1997
2000
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
放射線検出器 ホウシヤセンケンシユツキ
X線分光器 Xセンブンコウキ
カロリメータ カロリメータ
ボロメータ ボロメータ
超伝導遷移センサー (TES) チヨウデンドウセンイセンサー (TES)
超伝導量子干渉素子 (SQUID) チヨウデンドウリヨウシカンシヨウソシ (SQUID)
マイクロマシーニング マイクロマシーニング
チタン薄膜 チタンハクマク