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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- マイクロマシーニング ギジュツ オ オウヨウ シタ Xセン ・ セキガイセン ケンシュツキ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 満田和久, 宇宙科学研究所
- 著者標目
- 満田, 和久 ミツダ, カズヒサ
- 出版年月日等
- 1997-2000
- 出版年(W3CDTF)
- 19972000
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- 放射線検出器 ホウシヤセンケンシユツキX線分光器 Xセンブンコウキカロリメータ カロリメータボロメータ ボロメータ超伝導遷移センサー (TES) チヨウデンドウセンイセンサー (TES)超伝導量子干渉素子 (SQUID) チヨウデンドウリヨウシカンシヨウソシ (SQUID)マイクロマシーニング マイクロマシーニングチタン薄膜 チタンハクマク