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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- マイクロマシーニング ギジュツ オ オウヨウ シタ Xセン ・ セキガイセン ケンシュツキ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 満田和久, 宇宙科学研究所
- Author Heading
- 満田, 和久 ミツダ, カズヒサ
- Publication Date
- 1997-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 19972000
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- 放射線検出器 ホウシヤセンケンシユツキX線分光器 Xセンブンコウキカロリメータ カロリメータボロメータ ボロメータ超伝導遷移センサー (TES) チヨウデンドウセンイセンサー (TES)超伝導量子干渉素子 (SQUID) チヨウデンドウリヨウシカンシヨウソシ (SQUID)マイクロマシーニング マイクロマシーニングチタン薄膜 チタンハクマク