高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成
• タイトルよみ: コウミツド プラズマ PVD ニ ヨル ジセダイ チョウコウシツ ハクマク ゴウセイ
• 著者・編者: 三宅, 正司, 大阪大学
• 著者標目: 三宅, 正司 ミヤケ, ショウジ
• 出版年月日等: 1997-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 高密度プラズマ コウミツドプラズマ; PVD PVD; 超硬質薄膜 チヨウコウシツハクマク; 薄膜合成 ハクマクゴウセイ; ヘリコン波 ヘリコンハ; 真空アーク シンクウアーク; 窒化炭素薄膜 チツカタンソハクマク; カーボン薄膜 カーボンハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09480091
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09480091
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007070493; http://id.ndl.go.jp/bib/000007070493
• 整理区分コード: 214