高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成

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Material Type: 図書
Title: 高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成
Title Transcription: コウミツドプラズマ PVD ニヨルジセダイチョウコウシツハクマクゴウセイ
Author/Editor: 三宅, 正司, 大阪大学
Author Heading: 三宅, 正司ミヤケ, ショウジ
Publication Date: 1997-1999
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 高密度プラズマコウミツドプラズマ
PVD PVD
超硬質薄膜チヨウコウシツハクマク
薄膜合成ハクマクゴウセイ
ヘリコン波ヘリコンハ
真空アークシンクウアーク
窒化炭素薄膜チツカタンソハクマク
カーボン薄膜カーボンハクマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09480091
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09480091
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007070493
http://id.ndl.go.jp/bib/000007070493
Bibliographic Record Category (NDL): 214