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マイクロマシン材料の機械的特性とそのスケール効果の研究

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マイクロマシン材料の機械的特性とそのスケール効果の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10305008
国立国会図書館書誌ID
000007070897
資料種別
図書
著者
佐藤, 一雄, 名古屋大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロマシン ザイリョウ ノ キカイテキ トクセイ ト ソノ スケール コウカ ノ ケンキュウ
著者・編者
佐藤, 一雄, 名古屋大学
著者標目
著者 : 佐藤, 一雄, 1948- サトウ, カズオ, 1948- ( 00865926 )典拠
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
マイクロマシン マイクロマシン
薄膜 ハクマク
機械的特性 キカイテキトクセイ
試験法 シケンホウ
引張試験 ヒツパリシケン
MEMS MEMS
単結晶シリコン タンケツシヨウシリコン
シリコン化合物 シリコンカゴウブツ