マイクロマシン材料の機械的特性とそのスケール効果の研究

• Material Type: 図書
• Title: マイクロマシン材料の機械的特性とそのスケール効果の研究
• Title Transcription: マイクロマシン ザイリョウ ノ キカイテキ トクセイ ト ソノ スケール コウカ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 佐藤, 一雄, 名古屋大学
• Author Heading: 著者 ： 佐藤, 一雄, 1948- サトウ, カズオ, 1948- ( 00865926 )Authorities
• Publication Date: 1998-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: マイクロマシン マイクロマシン; 薄膜 ハクマク; 機械的特性 キカイテキトクセイ; 試験法 シケンホウ; 引張試験 ヒツパリシケン; MEMS MEMS; 単結晶シリコン タンケツシヨウシリコン; シリコン化合物 シリコンカゴウブツ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10305008
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10305008
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007070897; http://id.ndl.go.jp/bib/000007070897
• Bibliographic Record Category (NDL): 214