高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究
• タイトルよみ: コウミツド プラズマリアクタ ナイ ニ オケル ラジカル ノ キハクリュウ ト ヒョウメン ハンノウ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 南部, 健一, 東北大学
• 著者標目: 南部, 健一 ナンブ, ケンイチ
• 出版年月日等: 1998-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: 誘導結合型プラズマ ユウドウケツゴウガタプラズマ; プラズマエツチング プラズマエツチング; 高周波2電源方式 コウシユウハ2デンゲンホウシキ; ラジカル流 ラジカルリユウ; モンテカルロ法 モンテカルロホウ; ヘリカルコイル ヘリカルコイル; Cl2プラズマ CL2プラズマ; 表面反応 ヒヨウメンハンノウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10305016
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10305016
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007070903; http://id.ndl.go.jp/bib/000007070903
• 整理区分コード: 214