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高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究

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高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10305016
国立国会図書館書誌ID
000007070903
資料種別
図書
著者
南部, 健一, 東北大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウミツド プラズマリアクタ ナイ ニ オケル ラジカル ノ キハクリュウ ト ヒョウメン ハンノウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
南部, 健一, 東北大学
著者標目
南部, 健一 ナンブ, ケンイチ
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
誘導結合型プラズマ ユウドウケツゴウガタプラズマ
プラズマエツチング プラズマエツチング
高周波2電源方式 コウシユウハ2デンゲンホウシキ
ラジカル流 ラジカルリユウ
モンテカルロ法 モンテカルロホウ
ヘリカルコイル ヘリカルコイル
Cl2プラズマ CL2プラズマ
表面反応 ヒヨウメンハンノウ