高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究
• Title Transcription: コウミツド プラズマリアクタ ナイ ニ オケル ラジカル ノ キハクリュウ ト ヒョウメン ハンノウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 南部, 健一, 東北大学
• Author Heading: 南部, 健一 ナンブ, ケンイチ
• Publication Date: 1998-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: 誘導結合型プラズマ ユウドウケツゴウガタプラズマ; プラズマエツチング プラズマエツチング; 高周波2電源方式 コウシユウハ2デンゲンホウシキ; ラジカル流 ラジカルリユウ; モンテカルロ法 モンテカルロホウ; ヘリカルコイル ヘリカルコイル; Cl2プラズマ CL2プラズマ; 表面反応 ヒヨウメンハンノウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10305016
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10305016
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007070903; http://id.ndl.go.jp/bib/000007070903
• Bibliographic Record Category (NDL): 214