書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウセイド マイクロマシニング ニ ヨル チョウセンシング
- 著者・編者
- 江刺, 正喜, 東北大学
- 著者標目
- 著者 ： 江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )典拠
- 出版年月日等
- 1998-2000
- 出版年（W3CDTF）
- 1998
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)
- 件名標目
- 高感度圧力センサ コウカンドアツリヨクセンサ加速度センサ カソクドセンサジヤイロスコープ ジヤイロスコープ高精度マイクロマシニング コウセイドマイクロマシニング容量型AFMプローブ ヨウリヨウガタAFMプローブNMOS用プローブ NMOSヨウプローブナノパターン転写 ナノパターンテンシヤナノマシニング ナノマシニング