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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- コウセイド マイクロマシニング ニ ヨル チョウセンシング
- Author/Editor
- 江刺, 正喜, 東北大学
- Author Heading
- 著者 : 江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )Authorities
- Publication Date
- 1998-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(A)
- Subject Heading
- 高感度圧力センサ コウカンドアツリヨクセンサ加速度センサ カソクドセンサジヤイロスコープ ジヤイロスコープ高精度マイクロマシニング コウセイドマイクロマシニング容量型AFMプローブ ヨウリヨウガタAFMプローブNMOS用プローブ NMOSヨウプローブナノパターン転写 ナノパターンテンシヤナノマシニング ナノマシニング