高精度マイクロマシニングによる超センシング

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Material Type: 図書
Title: 高精度マイクロマシニングによる超センシング
Title Transcription: コウセイドマイクロマシニングニヨルチョウセンシング
Author/Editor: 江刺, 正喜, 東北大学
Author Heading: 著者：江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )Authorities
Publication Date: 1998-2000
Publication Date (W3CDTF): 1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: 高感度圧力センサコウカンドアツリヨクセンサ
加速度センサカソクドセンサ
ジヤイロスコープジヤイロスコープ
高精度マイクロマシニングコウセイドマイクロマシニング
容量型AFMプローブヨウリヨウガタAFMプローブ
NMOS用プローブ NMOSヨウプローブ
ナノパターン転写ナノパターンテンシヤ
ナノマシニングナノマシニング
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10305033
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H10305033
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007070913
http://id.ndl.go.jp/bib/000007070913
Bibliographic Record Category (NDL): 214