完全クローズド系の酸素フリー水/水フリー酸素とのシリコン表面反応機構制御の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 完全クローズド系の酸素フリー水/水フリー酸素とのシリコン表面反応機構制御の研究
• タイトルよみ: カンゼン クローズドケイ ノ サンソ フリースイ/スイ フリー サンソ ト ノ シリコン ヒョウメン ハンノウ キコウ セイギョ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 森田, 瑞穂, 大阪大学
• 著者標目: 森田, 瑞穂 モリタ, ミズホ
• 出版年月日等: 1998-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 半導体表面 ハンドウタイヒヨウメン; 半導体プロセス ハンドウタイプロセス; シリコン シリコン; 表面反応 ヒヨウメンハンノウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10555009
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10555009
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007072030; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072030
• 整理区分コード: 214