完全クローズド系の酸素フリー水/水フリー酸素とのシリコン表面反応機構制御の研究

• Material Type: 図書
• Title: 完全クローズド系の酸素フリー水/水フリー酸素とのシリコン表面反応機構制御の研究
• Title Transcription: カンゼン クローズドケイ ノ サンソ フリースイ/スイ フリー サンソ ト ノ シリコン ヒョウメン ハンノウ キコウ セイギョ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 森田, 瑞穂, 大阪大学
• Author Heading: 森田, 瑞穂 モリタ, ミズホ
• Publication Date: 1998-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 半導体表面 ハンドウタイヒヨウメン; 半導体プロセス ハンドウタイプロセス; シリコン シリコン; 表面反応 ヒヨウメンハンノウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555009
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10555009
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007072030; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072030
• Bibliographic Record Category (NDL): 214