シユリンクフイツタを用いた超高分解能ドライプロセスセツターの試作研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: シユリンクフイツタを用いた超高分解能ドライプロセスセツターの試作研究
• タイトルよみ: シユリンクフイツタ オ モチイタ チョウコウブンカイノウ ドライプロセスセツター ノ シサク ケンキュウ
• 著者・編者: 新田, 勇, 新潟大学
• 著者標目: 著者 ： 新田, 勇 ニッタ, イサミ ( 031352342 )典拠
• 出版年月日等: 1998-1999
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 機械要素 キカイヨウソ; 締結要素 テイケツヨウソ; シユリンクフイツタ シユリンクフイツタ; ドライプロセス ドライプロセス; 超精密接合 チヨウセイミツセツゴウ; スポツト径 スポツトケイ; レーザー レーザー; スキヤナー スキヤナー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10555050
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10555050
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007072048; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072048
• 整理区分コード: 214