シユリンクフイツタを用いた超高分解能ドライプロセスセツターの試作研究

• Material Type: 図書
• Title: シユリンクフイツタを用いた超高分解能ドライプロセスセツターの試作研究
• Title Transcription: シユリンクフイツタ オ モチイタ チョウコウブンカイノウ ドライプロセスセツター ノ シサク ケンキュウ
• Author/Editor: 新田, 勇, 新潟大学
• Author Heading: 著者 ： 新田, 勇 ニッタ, イサミ ( 031352342 )Authorities
• Publication Date: 1998-1999
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 機械要素 キカイヨウソ; 締結要素 テイケツヨウソ; シユリンクフイツタ シユリンクフイツタ; ドライプロセス ドライプロセス; 超精密接合 チヨウセイミツセツゴウ; スポツト径 スポツトケイ; レーザー レーザー; スキヤナー スキヤナー
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555050
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10555050
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007072048; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072048
• Bibliographic Record Category (NDL): 214