ナノ構造光デバイス作製のためのAFM・電子ビーム結合リソグラフイ技術の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: ナノ構造光デバイス作製のためのAFM・電子ビーム結合リソグラフイ技術の開発
• タイトルよみ: ナノ コウゾウ ヒカリ デバイス サクセイ ノ タメ ノ AFM ・ デンシ ビーム ケツゴウ リソグラフイ ギジュツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 末宗, 幾夫, 北海道大学
• 著者標目: 末宗, 幾夫 スエムネ, イクオ
• 出版年月日等: 1998-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: ナノリソグラフイ ナノリソグラフイ; 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ; AFM AFM; 電子ビームリソグラフイ デンシビームリソグラフイ; ナノ構造 ナノコウゾウ; 選択成長 センタクセイチヨウ; 量子ドツト リヨウシドツト; 光電子集積化 コウデンシシユウセキカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10555097
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10555097
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007072070; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072070
• 整理区分コード: 214