ナノ構造光デバイス作製のためのAFM・電子ビーム結合リソグラフイ技術の開発

• Material Type: 図書
• Title: ナノ構造光デバイス作製のためのAFM・電子ビーム結合リソグラフイ技術の開発
• Title Transcription: ナノ コウゾウ ヒカリ デバイス サクセイ ノ タメ ノ AFM ・ デンシ ビーム ケツゴウ リソグラフイ ギジュツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 末宗, 幾夫, 北海道大学
• Author Heading: 末宗, 幾夫 スエムネ, イクオ
• Publication Date: 1998-2000
• Publication Date (W3CDTF): 1998
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: ナノリソグラフイ ナノリソグラフイ; 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ; AFM AFM; 電子ビームリソグラフイ デンシビームリソグラフイ; ナノ構造 ナノコウゾウ; 選択成長 センタクセイチヨウ; 量子ドツト リヨウシドツト; 光電子集積化 コウデンシシユウセキカ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 10555097
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H10555097
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007072070; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072070
• Bibliographic Record Category (NDL): 214