パルスレーザデポジシヨンによる窒化炭素(CN)薄膜作製プロセスの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: パルスレーザデポジシヨンによる窒化炭素(CN)薄膜作製プロセスの開発
• タイトルよみ: パルスレーザデポジシヨン ニ ヨル チッカ タンソ(CN)ハクマク サクセイ プロセス ノ カイハツ
• 著者・編者: 須田, 義昭, 佐世保工業高等専門学校
• 著者標目: 須田, 義昭 スダ, ヨシアキ
• 出版年月日等: 1998-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 窒化炭素 チツカタンソ; パルスレーザデポジシヨン パルスレーザデポジシヨン; CN薄膜 CNハクマク; カーボン カーボン; Nd: YAG Laser ND: YAGLASER; 直流バイアス チヨクリユウバイアス; オージエ電子分光 オージエデンシブンコウ; 発光スペクトル ハツコウスペクトル
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10555108
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10555108
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007072077; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072077
• 整理区分コード: 214