図書

パルスレーザデポジシヨンによる窒化炭素(CN)薄膜作製プロセスの開発

Icons representing 図書

パルスレーザデポジシヨンによる窒化炭素(CN)薄膜作製プロセスの開発

Call No. (NDL)
Y151-H10555108
Bibliographic ID of National Diet Library
000007072077
Material type
図書
Author
須田, 義昭, 佐世保工業高等専門学校
Publisher
-
Publication date
1998-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
パルスレーザデポジシヨン ニ ヨル チッカ タンソ(CN)ハクマク サクセイ プロセス ノ カイハツ
Author/Editor
須田, 義昭, 佐世保工業高等専門学校
Author Heading
須田, 義昭 スダ, ヨシアキ
Publication Date
1998-2000
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
窒化炭素 チツカタンソ
パルスレーザデポジシヨン パルスレーザデポジシヨン
CN薄膜 CNハクマク
カーボン カーボン
Nd: YAG Laser ND: YAGLASER
直流バイアス チヨクリユウバイアス
オージエ電子分光 オージエデンシブンコウ
発光スペクトル ハツコウスペクトル