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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- パルスレーザデポジシヨン ニ ヨル チッカ タンソ(CN)ハクマク サクセイ プロセス ノ カイハツ
- Author/Editor
- 須田, 義昭, 佐世保工業高等専門学校
- Author Heading
- 須田, 義昭 スダ, ヨシアキ
- Publication Date
- 1998-2000
- Publication Date (W3CDTF)
- 1998
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- 窒化炭素 チツカタンソパルスレーザデポジシヨン パルスレーザデポジシヨンCN薄膜 CNハクマクカーボン カーボンNd: YAG Laser ND: YAGLASER直流バイアス チヨクリユウバイアスオージエ電子分光 オージエデンシブンコウ発光スペクトル ハツコウスペクトル