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Siウエーハ表面汚染インライン赤外診断装置の開発研究

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Siウエーハ表面汚染インライン赤外診断装置の開発研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10555113
国立国会図書館書誌ID
000007072079
資料種別
図書
著者
庭野, 道夫, 東北大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
Si ウエーハ ヒョウメン オセン インライン セキガイ シンダン ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
著者・編者
庭野, 道夫, 東北大学
著者標目
庭野, 道夫 ニワノ, ミチオ
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
半導体 ハンドウタイ
赤外分光 セキガイブンコウ
多重内部反射 タジユウナイブハンシヤ
表面汚染 ヒヨウメンオセン
有機物 ユウキブツ
インライン・モニタ インライン・モニタ
大口径ウエーハ ダイコウケイウエーハ