Siウエーハ表面汚染インライン赤外診断装置の開発研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: Siウエーハ表面汚染インライン赤外診断装置の開発研究
• タイトルよみ: Si ウエーハ ヒョウメン オセン インライン セキガイ シンダン ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
• 著者・編者: 庭野, 道夫, 東北大学
• 著者標目: 庭野, 道夫 ニワノ, ミチオ
• 出版年月日等: 1998-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 半導体 ハンドウタイ; 赤外分光 セキガイブンコウ; 多重内部反射 タジユウナイブハンシヤ; 表面汚染 ヒヨウメンオセン; 有機物 ユウキブツ; インライン・モニタ インライン・モニタ; 大口径ウエーハ ダイコウケイウエーハ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10555113
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10555113
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007072079; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072079
• 整理区分コード: 214