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極微細半導体素子での基板電流ゆらぎに伴う素子寿命不確定性抑制の研究

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極微細半導体素子での基板電流ゆらぎに伴う素子寿命不確定性抑制の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H10555115
国立国会図書館書誌ID
000007072080
資料種別
図書
著者
佐野, 伸行, 筑波大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ゴク ビサイ ハンドウタイ ソシ デ ノ キバン デンリュウユラギ ニ トモナウ ソシ ジュミョウ フカクテイセイ ヨクセイ ノ ケンキュウ
著者・編者
佐野, 伸行, 筑波大学
著者標目
佐野, 伸行 サノ, ノブユキ
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
衝突イオン化 シヨウトツイオンカ
MOSFET MOSFET
モンテカルロ法 モンテカルロホウ
シミユレーシヨン シミユレーシヨン
半導体デバイス ハンドウタイデバイス
素子寿命 ソシジユミヨウ
ホツトキヤリア ホツトキヤリア
電流ノイズ デンリユウノイズ