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遷移金属酸化物半導体の薄膜化による高耐久性を有する味センサシステムの開発

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遷移金属酸化物半導体の薄膜化による高耐久性を有する味センサシステムの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H10555133
国立国会図書館書誌ID
000007072090
資料種別
図書
著者
関, 亨士郎, 岩手大学
出版者
-
出版年
1998-2000
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
センイ キンゾク サンカブツ ハンドウタイ ノ ハクマクカ ニ ヨル コウタイキュウセイ オ ユウスル アジ センサ システム ノ カイハツ
著者・編者
関, 亨士郎, 岩手大学
著者標目
関, 亨士郎 セキ, キョウシロウ
出版年月日等
1998-2000
出版年(W3CDTF)
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
遷移金属酸化物 センイキンゾクサンカブツ
薄膜 ハクマク
スパツタ法 スパツタホウ
センサ センサ
MnZnフエライト MNZNフエライト
アニーリング アニーリング
パターン認職 パターンニンシヨク
飲料 インリヨウ