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図書

遷移金属酸化物半導体の薄膜化による高耐久性を有する味センサシステムの開発

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遷移金属酸化物半導体の薄膜化による高耐久性を有する味センサシステムの開発

Call No. (NDL)
Y151-H10555133
Bibliographic ID of National Diet Library
000007072090
Material type
図書
Author
関, 亨士郎, 岩手大学
Publisher
-
Publication date
1998-2000
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
センイ キンゾク サンカブツ ハンドウタイ ノ ハクマクカ ニ ヨル コウタイキュウセイ オ ユウスル アジ センサ システム ノ カイハツ
Author/Editor
関, 亨士郎, 岩手大学
Author Heading
関, 亨士郎 セキ, キョウシロウ
Publication Date
1998-2000
Publication Date (W3CDTF)
1998
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
遷移金属酸化物 センイキンゾクサンカブツ
薄膜 ハクマク
スパツタ法 スパツタホウ
センサ センサ
MnZnフエライト MNZNフエライト
アニーリング アニーリング
パターン認職 パターンニンシヨク
飲料 インリヨウ