CCDイメージセンサを用いるダイナミツクイメージング分光エリプソメータの試作

• 資料種別: 図書
• タイトル: CCDイメージセンサを用いるダイナミツクイメージング分光エリプソメータの試作
• タイトルよみ: CCD イメージセンサ オ モチイル ダイナミツクイメージング ブンコウ エリプソメータ ノ シサク
• 著者・編者: 杉本, 克久, 東北大学
• 著者標目: 杉本, 克久 スギモト, カツヒサ
• 出版年月日等: 1998-2000
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: イメージング イメージング; 分光エリプソメータ ブンコウエリプソメータ; CCDセンサ CCDセンサ; 膜厚 マクアツ; 光学定数 コウガクテイスウ; 空間分布 クウカンブンプ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 10555238
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H10555238
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007072140; http://id.ndl.go.jp/bib/000007072140
• 整理区分コード: 214